兆声波清洗振板可方便地装置到清洗槽上进行兆声清洗，兆声波清洗与超声波清洗相对来说对基材损伤更小，对于亚微米/纳米级颗粒及高深宽比结构的残留祛除效果更好，广泛适用于半导体晶圆、光掩膜、精密光学镜片‌等要求更高的制造环节。