所属分类：兆声波清洗系统

喷淋式兆声波清洗系统主要用于清洗晶圆和硬盘，兆声波叠加在从喷嘴射出来的流水上，来清洗物件。喷射流水方式消除了颗粒的再附着，并具有较高的亚微米级颗粒祛除率。